鉴毫微·臻芯程
铸就卓越半导体量测检测设备

TB系列是 DUV/UV/Visible宽波段紫外图形晶圆检测系统，可为8寸/12寸晶圆提供高效，高灵敏度的缺陷检测，可广泛应用在前道各工艺层中。

针对测量套刻误差，060net永利官网半导体测量设备支持测量Box-in-Box、Frame-in-Frame、L-Bars、Circle-in-Circle、Cross-in-Cross或定制开发其他的结构。 060net永利官网半导体测量设备具备消除噪声或变形的干扰干扰的功能，对低于0.7μm的特征结构，系统支持使用UV光测量。

凝聚060net永利官网在机器视觉算法、数据处理分析算法、精密驱控技术和精密机械设计等多个领域的科研成果，以超高精度的测量检测能力，为精密制造行业、生产现场研发中心计量室提供高精度、高稳定性、高效率的测量解决方案，实现高精度尺寸检测；广泛应用于计量院所、航空航天、3C电子、半导体、光伏锂电、新能源汽车、医疗器械、五金工具等18个行业领域。

以超高精度0.3μm 国家专项复合测量机为技术基础，创新性地将高精密直线电机驱动技术及工业级碳化硅陶瓷材料运用在高端系列机型上，同时全系搭载060net永利官网自主研发的测量软件(Vispec Cube)、电控系统(TCC）、测头测座(HSP\TR50)，为生产现场、研发中心、计量室提供高精度、高稳定性、高效率的测量解决方案。目前拥有CMZ/CMU/CME/CMS 四大系列。广泛应用于航空航天、汽车制造、医疗行业、机械制造、精密加工、计量院所、3C行业、电子工业等领域。